فناوری کندوپاش مغناطیسی (PVD) یکی از فناوریهای کلیدی برای تهیه مواد لایه نازک است. مواد هدف کندوپاش تیتانیوم با خلوص بالا، مواد مصرفی کلیدی در فرآیند کندوپاش مگنترون هستند و چشمانداز کاربرد گستردهای در بازار دارند. مواد مورد نظر تیتانیوم به عنوان یک ماده پوشش-ارزش افزوده{4} بالا، الزامات سختگیرانه ای از نظر خلوص شیمیایی، ریزساختار و عملکرد دارند و بسیار فنی و پردازش آنها دشوار است.
مواد هدف تیتانیوم پراکنده مگنترون عمدتاً در صنایع الکترونیک و اطلاعات، مانند مدارهای مجتمع، نمایشگرهای صفحه تخت، و زمینه های پوشش تزئینی در صنایع دکوراسیون منزل و خودرو، مانند پوشش تزئینی شیشه ای و پوشش تزئینی توپی چرخ، همانطور که در شکل 1 نشان داده شده است، استفاده می شود. و دقت ابعادی خلوص مواد هدف تیتانیوم برای مدارهای مجتمع عمدتاً بالای 99.995٪ است و در حال حاضر عمدتاً به واردات متکی هستند. در بازار مواد هدف تیتانیوم مورد استفاده در نمایشگرهای صفحه تخت، بازار نمایشگر کریستال مایع (LCD) بزرگترین بازار است که بیش از 90 درصد را به خود اختصاص داده است. ال سی دی در حال حاضر امیدوارکننده ترین دستگاه نمایشگر صفحه تخت در نظر گرفته می شود. ظهور آن دامنه کاربرد نمایشگرها را بسیار گسترش داده است، از نمایشگرهای رایانه نوت بوک، مانیتورهای رایانه رومیزی، تلویزیونهای LCD با کیفیت بالا تا ارتباطات سیار. محصولات LCD جدید مختلف بر عادات زندگی مردم تأثیر می گذارند و باعث پیشرفت سریع صنعت اطلاعات در جهان می شوند.
خلوص مواد هدف تیتانیوم تأثیر قابل توجهی بر عملکرد فیلم های پراکنده دارد. هرچه خلوص بالاتر باشد، ذرات عنصر ناخالصی کمتری در فیلم تیتانیوم پراکنده شده، منجر به عملکرد بهتر فیلم، از جمله مقاومت در برابر خوردگی و خواص الکتریکی و نوری بهتر میشود. به طور کلی، مواد هدف تیتانیوم دارای ساختار پلی کریستالی با اندازه دانه از میکرومتر تا میلی متر است. مواد هدف دانه ریز، سرعت کندوپاش سریعتری نسبت به مواد درشت- دارند. برای اهدافی با اندازه دانه های مشابه روی سطح کندوپاش، توزیع ضخامت فیلم رسوب شده پراکنده شده نیز یکنواخت تر است.
